電容式壓力傳感器是一種壓力傳感器，它利用電容敏感元件將被測壓力轉關系的電力輸出的壓力傳感器。一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極。當薄膜感受到壓力并變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容發(fā)生變化，通過測量電路可以輸出與電壓有一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極變電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。
它由圓膜和固定電極組成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量。其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比，與薄膜的張力從薄膜到固定電極的距離成反比。另一種類型的固定電極呈凹形球形，膜片為固定在周圍的張緊平面，可采用塑料鍍金屬層制成。該類型適用于低壓測量，過載能力高。單電容式壓力傳感器也可以用帶活塞動極膜片來測量高壓。這種類型可以減少膜片的直接受壓面積，從而使用較薄的膜片來提高靈敏度。為了提高抗干擾能力，它還與各種補償和保護部門和放大電路封裝在一起。該傳感器適用于測量動態(tài)高壓和遙測飛機。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式(即麥克風式)和聽診器式。差動電容式壓力傳感器。
壓力膜片電極位于兩個固定電極之間，形成兩個電容器。在壓力的作用下，一個電容器的容量增加，另一個電容器相應減小，測量結果由差動電路輸出。其固定電極由凹曲玻璃表面鍍金屬層制成。過載時，膜片受凹面保護而不破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式靈敏度高，線性好，但加工難度大(尤其是對稱性難以保證)，無法隔離被測氣體或液體，不適合在腐蝕性或雜質流體中工作。
電容力傳感器結構簡單，靈敏度高，動態(tài)響應快，但由于電荷泄漏難以避免，不適合靜態(tài)力測量（電容力傳感器的結構原理）。
在矩形的特殊彈性元件上，加工幾個連通的圓孔，每個圓孔固定兩個端面平行的丁字電極，每個電極粘貼銅箔，形成由多個平行板電容器并聯組成的測量電路。在力F的作用下，彈性元件的變形改變了極板間矩，從而改變了電容。
